国家知识产权局信息显示，中科慧远半导体技术（广东）有限公司、中科慧远视觉技术（北京）有限公司、中科慧远视觉技术（洛阳）有限公司申请一项名为“应用于晶圆检测的空气净化设备和晶圆检测系统”的专利，公开号CN121678700A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本申请提供了一种应用于晶圆检测的空气净化设备和晶圆检测系统，包括机架和送风部，机架内设置有外防护腔、光路腔和检测腔，光路腔和检测腔设置在外防护腔内，送风部分别与外防护腔、光路腔和检测腔相连通，以分别向外防护腔、光路腔和检测腔内通入气流，检测腔内的气压大于光路腔内的气压，光路腔内的气压大于外防护腔内的气压。通过将光路腔和检测腔设置在外防护腔内，且构建检测腔气压高于光路腔以及光路腔气压高于外防护腔的梯度气压体系，进而形成多重防护屏障，有效阻隔外部污染物侵入核心工作区域，提升了洁净度控制效果，适配纳米级晶圆检测对环境的要求。

天眼查资料显示，中科慧远半导体技术（广东）有限公司，成立于2020年，位于东莞市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，中科慧远半导体技术（广东）有限公司参与招投标项目2次，专利信息170条，此外企业还拥有行政许可5个。

中科慧远视觉技术（北京）有限公司，成立于2019年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析，中科慧远视觉技术（北京）有限公司专利信息155条，此外企业还拥有行政许可4个。

中科慧远视觉技术（洛阳）有限公司，成立于2016年，位于洛阳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本4442.1638万人民币。通过天眼查大数据分析，中科慧远视觉技术（洛阳）有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目40次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息349条，此外企业还拥有行政许可6个。

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